产品名称：在线残余气体分析仪

ProRGA-7000 是（FPI）推出的 高性能在线残余气体分析仪（Residual Gas Analyzer, RGA），属于四极杆质谱类精密仪器，专为真空腔体、密闭容器内的痕量气体成分、分压监测与泄漏检测设计，核心应用于半导体、锂电池、真空设备、科研装置等对真空洁净度、密封性要求极高的场景

一、核心定位与原理

• 产品定位：真空 / 密闭环境专用、ppb 级灵敏度、毫秒级响应、在线残余气体质谱
• 核心优势：宽真空适配（10Pa~ 常压）、痕量检测、泄漏定位、长期稳定、国产替代
• 工作原理：采用电子轰击离子源（EI）+ 高精度四极杆质量分析器，将真空 / 密闭环境中的气体分子电离、按质荷比（m/z）分离，精准定量 H₂、He、N₂、O₂、H₂O、CO、CO₂、Ar、碳氢化合物 等残余气体的分压，实现成分分析、污染监控、氦气检漏。

二、关键技术参数

• 质量范围：1 ~ 200 amu（覆盖全部常见残余气体）
• 检测下限：ppb 级（部分气体可达 1 ppb）
• 响应速度：单组分 < 0.5 秒；全谱扫描 < 5 秒
• 真空适配：10 Pa ~ 常压（无需高真**置，直接对接腔体）
• 离子源：惰性化双灯丝（冗余备份，抗污染、长寿命）
• 检测器：电子倍增器（EM），高灵敏度
• 流路接口：直接真空法兰连接（KF/NW/CF），支持多路真空腔体切换
• 功能模式：
  • 全谱扫描（Scan）：定性未知气体
  • 多组分监测（MID）：定量目标气体（*多 32 种）
  • 氦检漏模式（He Leak）：精准定位泄漏点
  • 分压趋势记录：长期监控污染 / 泄漏动态
• 通信与软件：以太网、RS485；专用 RGA 软件，支持远程监控、自动校准、智能诊断、数据溯源
• 设计：模块化、紧凑型、工业级防护，适应无尘车间 / 科研实验室

三、核心产品亮点

1. 超宽真空适配，直接在线集成

• 突破传统 RGA 仅能在 ** 高真空（<10⁻²Pa）** 工作的限制，10Pa 至常压均可稳定运行
• 直接法兰安装于真空腔体，无需复杂前处理，即装即用
• **适配半导体腔体、锂电池注液 / 化成舱、冻干机、真空镀膜机

2. **灵敏度，捕捉 ppb 级污染

• ppb 级检出限，可检测真空系统中极微量的水、氧、油蒸汽等致命污染物
• 提前预警腔体污染、密封圈老化、材料放气，大幅提升产品良率
• 满足半导体、锂电池对无氧、无水、无尘的**工艺要求

3. 秒级响应 + 氦检漏，泄漏**定位

• 0.5 秒响应，实时捕捉泄漏、污染突增的瞬间信号
• 专用氦气检漏模式，充氦后可精准定位微小漏点（漏率 < 10⁻⁹ Pa・m³/s）
• 解决真空设备、锂电池包、密封容器的泄漏检测、质量追溯难题

4. 智能免维护，长期无人值守

• 自动校准、自动调谐、故障自诊断，消除长期漂移
• 无载气、无耗材，维护周期 ≥ 1 年，TCO 远低于进口

5. 国产自主可控，打破垄断

• 100% 自主知识产权，核心部件（四极杆、检测器）自研
• 性能对标进口品牌（MKS、Inficon、Leybold RGA）
• 供货稳定、价格优、服务响应快（24 小时）

四、ProRGA-7000 vs ProMars-6000（工业在线质谱）

五、典型应用领域

• 锂电池制造（核心场景）
  • 注液 / 化成 / 封口工序：监测H₂O、O₂残余，防止电解液分解、鼓胀、短路
  • 电池包 / 模组：氦气检漏，定位漏液、漏气隐患，保障**与寿命
• 半导体 / 显示面板
  • CVD/ALD/PVD/ 蚀刻腔体：实时监测H₂O、O₂、N₂、碳氢物，避免晶圆缺陷
  • 真空设备维保：检漏、污染诊断、腔体清洁度验证
• 真空设备与制药
  • 真空冻干机：检测硅油蒸汽泄漏，防止药品污染
  • 真空镀膜、热处理炉：工艺气氛监控、泄漏预警
• 科研与航空航天
  • 实验室真空系统、粒子加速器、卫星环境模拟舱：超高真空残余气体分析
  • 密封器件、航天器部件：高精度检漏与质量控制

六、总结