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激光痕量气体分析仪,LTGA-200 激光痕量气体分析仪是聚光科技 ( 杭州 ) 股份有限公司在多年激光气体分析技术积累的基础上推出的用于测量 ppb 级痕量气体的专用分析仪器。LTGA-200 激光痕量气体分析仪结合半导体激光吸收光谱技术和长光程低吸附测量气室技术,实现了针对高吸附性痕量气体的稳定检测。产品采用标准机箱式设计,适配标准 19 英寸机柜,为环境大气、特定区域大气、工业过程气体中的有毒有害气体和恶臭气体监测提供了*佳的解决方案
产品特点
检测精度高:
LTGA-200 采用长光程低吸附测量气室使激光痕量气体分析 仪达到 ppb 级检测精度和测量下限
稳定、可靠:
LTGA-200 结合聚光科技在工业领域长期积累的工程化经验, 采用经过十年以上痕量组分应用考验的低漂移关键部件,使 激光痕量气体分析仪达到 ppb 级漂移量,稳定性和可靠性均 达到工业级水准
标定便捷,测量可靠:
LTGA-200 开发具有自主知识产权的标定技术,使激光痕量气 体分析仪实现 HF 痕量气体的免标气标定,使用户摆脱了购置 此类标气的难题,降低了运行成本。
直接测量:
LTGA-200 仪表采用半导体激光吸收光谱技术,使仪表可以简 单直接地测试气体浓度,不需经过复杂的运算、转化,准确性高
一、定位与核心原理
定位:聚光科技旗舰级痕量 DLAS 激光气体分析仪,主打ppb 级超高灵敏度,面向高纯气体、半导体、精细化工、环境监测等超净 / 超低浓度场景,是 LGA-9500 的 “痕量增强版”。
原理:基于可调谐半导体激光吸收光谱(DLAS)+长光程共振吸收,单线光谱免交叉干扰;原位 / 抽取式双模式,毫秒级响应,无需复杂预处理。
核心差异:相比 LGA-9100/9500,光学腔长提升 5–10 倍、探测器噪声降低 90%,实现ppb 级(10⁻⁹)检出限。
二、关键技术参数(2026 痕量旗舰版)
1. 测量能力(痕量专属)
测量组分:O₂、CO、CO₂、H₂O、H₂S、HF、HCl、CH₄、NH₃、NO、NO₂等,*多 4 组分同步测量。
量程(痕量典型):
O₂:0–100ppb(高纯气体)、0–1ppm、0–100ppm
CO:0–50ppb、0–1ppm、0–1000ppm
H₂S:0–10ppb、0–50ppm
NH₃:0–20ppb、0–100ppm
2. 性能指标(超高精度)
检出限(LOD):≤1ppb(O₂/CO)、≤0.5ppb(H₂S/NH₃)
线性误差:≤±0.2%F.S.
重复性:≤±0.1%F.S.
零点漂移:≤±0.5% F.S./6 个月
响应时间:T90≤0.5s(超快)
3. 工况与**
工作温度:-20~60°C(标准);-40~85°C(定制)
样气压力:-0.1~1MPa(原位);0.1~0.5MPa(抽取)
粉尘 / 杂质:≤10g/m³(痕量场景低粉尘)
防爆 / 防护:Ex d ⅡCT6 Gb;IP67;SIL3
激光**:Class 1(人眼**)
4. 输出与通讯
模拟量:4–20mA(隔离,2 路)
数字通讯:RS485、以太网、Profinet、Modbus TCP
继电器:3 路(报警 / 联锁,24VDC/1A)
数据存储:内置 16GB,支持 1 年历史数据回看
三、与 LGA-9100/9500 的核心区别
表格
对比项 LTGA-200(痕量款) LGA-9500(高配款) LGA-9100(标准款)
测量级别 ppb 级(痕量) ppm 级(微量) ppm 级(常量 / 微量)
检出限 ≤0.5–1ppb ≤100ppb ≤1ppm
光学设计 长光程共振腔 标准对穿光路 标准对穿光路
探测器 高灵敏度 InGaAs 普通 InGaAs 普通 InGaAs
主要场景 高纯气体、半导体、环境监测 化工、冶金、垃圾焚烧 冶金、水泥、电力
价格区间 ¥25 万~35 万 ¥15 万~28 万 ¥12 万~18 万
四、核心优势
ppb 级超高灵敏度:检出限低至0.5ppb,满足高纯气体(如半导体硅片制造用高纯 N₂/Ar)中微量杂质检测需求。
双模式灵活测量:支持原位对穿(管道 / 气路)与抽取式(样气预处理后),适配不同安装条件。
**稳定与低维护:零气耗、无耗材、免校准周期≥12 个月;内置光谱基准,自动修正温压漂移。
高**等级:SIL3+IP67 + 防爆,适配化工 / 半导体高危环境,支持**联锁。
智能云端互联:5G + 边缘计算,远程诊断 / 预警 / 云端校准,支持无人值守。
五、典型应用场景(超净 / 超低浓度)
半导体 / 电子:高纯氮气(N₂)、氩气(Ar)、氢气(H₂)中ppb 级 O₂/CO/H₂O杂质监测(防止硅片氧化 / 污染)。
精细化工 / 医药:反应釜 / 管道中微量O₂(防爆)、H₂S(防腐)、NH₃(纯度控制)。
环境监测 / 大气:城市大气 / 工业园区痕量 NH₃/H₂S/NO₂(恶臭 / 有毒气体溯源)。
光伏 / 新能源:硅片 / 电池片生产过程中保护气体微量 O₂监测(提升良品率)。
高纯气体制造:空分 / 气体纯化装置出口ppb 级杂质在线分析(质量认证)。
六、安装与维护要点
1. 安装(痕量场景严格要求)
方式:原位对穿(水平 / 垂直,管道两侧)或抽取式(配精密过滤器 + 稳压阀)。
直管段:≥10D(痕量测量需更长稳定流段)。
吹扫:双级高纯氮气吹扫(防止视窗污染,氮气纯度≥99.999%)。
环境:安装区域温湿度稳定(温度波动≤±2°C/h)、无强电磁干扰。
2. 维护(极简)
日常:零维护,无需更换滤芯 / 试剂。
月度:检查吹扫压力(0.4–0.6MPa)、视窗清洁度。
年度:云端自动校准,免人工标定;检查光路同轴度。
校准周期:≥12 个月(优于 LGA-9500 的 6 个月)。
七、价格参考(2026 中国市场,痕量配置)
标准型(O₂/CO 双组分,ppb 级):¥25 万~28 万
多组分(3–4 种气体,含 H₂S/NH₃):¥30 万~35 万
定制型(高温 / 高压 / 特殊气体):上浮 15%~25%
八、与 NOVEx II 隔爆阀的联动(痕量场景防爆)
高纯气体 / 粉尘防爆系统:LTGA-200 监测料仓 / 管道内ppb 级 O₂浓度(防止可燃气体爆炸),超标时毫秒级触发 NOVEx II 隔爆阀关闭,阻断爆炸传播;SIL3+SIL2双重**,适配高风险痕量工况。