中文版  |  ENGLISH  |   设为首页  |   加入收藏
产品[

Dycor DyMaxion 流导限制型气体分析仪

]资料
如果您对该产品感兴趣的话,可以 sendmsg
产品名称: Dycor DyMaxion 流导限制型气体分析仪
产品型号: Dycor DyMaxion 流导限制型气体分析仪
产品厂商: 其它品牌
产品文档: 无相关文档


简单介绍

Dycor DyMaxion 流导限制型气体分析仪 Dycor流导限制型离子源气体分析仪是专门为半导体和薄膜制造过程监测而设计的,体系压力为毫托范围。

Dycor DyMaxion 流导限制型气体分析仪 的详细介绍

Dycor DyMaxion 流导限制型气体分析仪
Dycor流导限制型离子源气体分析仪是专门为半导体和薄膜制造过程监测而设计的,体系压力为毫托范围。

DymaxionPVD
Dycor DyMaxion 流导限制型气体分析仪

 
概述

对离子发生器的设计,可以得到增强的灵敏度和下降的背景噪声。当一个流导限制型离子源在样本压力达到10-3 torr时可以运行,不需要分析抽气的进样系统进一步减少压力。越高的样本压力下有更多的中子,有更多的样气会离子化。压力每增大一个数量级,信号强度和样本浓度成比例地变化。这是通过限制样本气体在一个(相对)小的离子室内而实现的。样本气体被限制在离子室内,该离子室的两边有两个裂缝,轰击电子通过这些裂缝进入,进而使样品气体离子化。在靠近离子室的小的出口形成的离子立即被吸至质量过滤器,几乎没有机会和中子反应。离子化效率很高,因为实际上所有的样本气体都经过小的离子化地带。从离子源到下游的质量过滤器的主要的传送机制是由离子发生器中的相对高压与下游质量过滤器中的相对低压产生的一个压力梯度。因此,离子源是由于压力的不同而引起的流导限制。

流导限制式离子源的其他特点包括:
传感器室中背景气体对分析信号的*小程度的污染
离子室外的灯丝排除本底信号
可拆卸的离子室方便清洗
两根涂钍的铱灯丝
可简便替换的灯丝
从传感器真空室进口到离子室连接简单
流导限制式离子源具备了增强的灵敏度,降低的体系压力背景噪声,和PPB 水平的检测能力。 
 

产品留言
标题
联系人
联系电话
内容
验证码
点击换一张
注:1.可以使用快捷键Alt+S或Ctrl+Enter发送信息!
2.如有必要,请您留下您的详细联系方式!


·德国Petrotest石油产品分析测试仪 ·英国马尔文激光粒度分析仪 ·密里博Millipore纯水系统 ·美国GE总有机碳TOC分析仪 ·美国HACH水质分析系统 ·德国SCHOTT粘度仪 ·美国TSI环境监测分析仪 ·影像系统 ·生物芯片 ·ATAGO折光仪旋光仪 ·Schott肖特电化学仪器系列 ·Biohit百得液体处理系列产品 ·LAUDA水浴温控设备 ·德国艾本德Eppendorf实验室仪器 ·德国徕卡Leica ·通用电气GE实验室分析仪器系统 ·沃特世液相色谱仪 ·依拉勃超净工作台 ·德国Julabo ·美国Lead tech ·德国Binder ·日本Shimadzu ·美国Brookfield ·德国IKA ·瑞士Buchi ·瑞士E+H公司仪器仪表 ·瑞士梅特勒-托利多检测设备/商用衡器及系统 ·日本SANYO三洋箱柜产品系列 ·美国Thermo Fisher赛默飞世尔分析仪器系列 ·美国Agilent Technologies安捷伦分析仪器 ·瑞士Metrohm万通实验室仪器系列 ·美国VARIAN瓦里安分析仪器系列 ·德国WTW环保仪器系列 ·法国Secomam COD测试仪 ·美国HACH总有机碳TOC分析测试仪 ·美国BJC工业用电极 ·德国博德BD sensors压力变送器 ·实验室分析仪器系列

上海美盛自动化设备有限公司 电话:021-54175069  传真:021-54175079   15821867868  销售及技术服务中心:上海总部:上海市松江区伴亭东路288号

沪ICP备13006432号